掃描電鏡加熱原位系統(tǒng)將MEMS氣氛環(huán)境微腔和加熱模塊集成到掃描電鏡樣品臺(tái)上，在掃描電鏡中制造可控的環(huán)境并且可以對(duì)實(shí)驗(yàn)樣品原位加熱?？蓪?duì)樣品進(jìn)行可控溫度的加熱，電學(xué)測(cè)量芯片可對(duì)樣品進(jìn)行電性質(zhì)測(cè)量。并可在進(jìn)行加熱和電學(xué)測(cè)量的同時(shí)，動(dòng)態(tài)、高分辨地對(duì)樣品的晶體結(jié)構(gòu)、化學(xué)組分、元素價(jià)態(tài)進(jìn)行綜合表征，極大拓展了透射電鏡的功能和應(yīng)用范圍。使用同一個(gè)SEM樣品臺(tái)既可以實(shí)現(xiàn)不同的原位解決方案電學(xué)、加熱等不同應(yīng)用。
本公司提供的CHIP-NOVA掃描電鏡加熱原位系統(tǒng)有優(yōu)異的熱學(xué)性能：
1.高精密紅外測(cè)溫校正，微米級(jí)高分辨熱場(chǎng)測(cè)量及校準(zhǔn)，確保溫度的準(zhǔn)確性。
2.四電極的超高頻控溫方式，排除導(dǎo)線(xiàn)和接觸電阻的影響，測(cè)量溫度和電學(xué)參數(shù)更精確。
3.采用高穩(wěn)定性貴金屬加熱絲(非陶瓷材料)，既是熱導(dǎo)材料又是熱敏材料，其電阻與溫度有良好的線(xiàn)性關(guān)系，加熱區(qū)覆蓋整個(gè)觀測(cè)區(qū)域，升溫降溫速度快，熱場(chǎng)穩(wěn)定且均勻，穩(wěn)定狀態(tài)下溫度波動(dòng)±1℃。
4.采用閉合回路高頻動(dòng)態(tài)控制和反饋環(huán)境溫度的控溫方式，高頻反饋控制消除誤差，控溫精度±1℃。
5.多級(jí)復(fù)合加熱MEMS芯片設(shè)計(jì)，控制加熱過(guò)程熱擴(kuò)散，大大抑制升溫過(guò)程的熱漂移，確保實(shí)驗(yàn)的高效觀察。
6.加熱絲外部由氮化硅包覆，不與樣品發(fā)生反應(yīng)，確保實(shí)驗(yàn)的準(zhǔn)確性。
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